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PX系列簡介 漢鐘PX系列旋片泵簡化了真空泵的工藝結構。油潤滑旋片設計，輔以的制作材料，配以*的精密制造，確保其在持續運行時可以獲得穩定的高真空。高效的抽氣系統...

用途： Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant特點： 綠色制造、全新系列干式真空泵...

特點：較低的電能消耗。節能模式的應用降低整體功耗。體積小，重量輕。節省了安裝空間。

用途： Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD, PECVD, LPCVD,ALD特點：IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優...

PA VSD+系列真空泵是一款節能，環保的永磁變頻微油螺桿真空泵。 ·高效能 得益于變頻驅動控制，PA VSD+可提供所需的流量而不會過量，避免浪費能源。新型的...